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加熱電源
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適用于單晶硅,多晶硅加工領(lǐng)域。 產(chǎn)品特點(diǎn): 采用先進(jìn)的多機(jī)并聯(lián)同步均流輸出技術(shù),能實(shí)現(xiàn)多臺(tái)電源電流均輸出 采用N+X冗余備用系統(tǒng)。所有模塊都參與工作,一日其中某一個(gè)模塊失效,系統(tǒng)自動(dòng)將故障單元退出,其它模塊共同分 擔(dān)故障單元電流,使總輸出電壓電流保持不變,待生產(chǎn)完畢可將故障模塊取出維護(hù),大大提高電源的可靠性; 増加輔助加熱電源,少主電源柜的高溫負(fù)荷時(shí)間降低事故發(fā)生率; 使用底部加熱器,實(shí)現(xiàn)晶棒降氧,提高單晶的品質(zhì); 化料時(shí)間快,對(duì)坩堝加熱更均勻,料溫更穩(wěn)定,減少坩鍋漏硅的機(jī)率; 全數(shù)控制高頻開關(guān)電源,節(jié)能、穩(wěn)定,更抗開擾性 RS485網(wǎng)絡(luò)控制系統(tǒng),控制信號(hào)無衰,保證輸出精度高。
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